高分解能電界放出形走査
電子顕微鏡装置
（FE-SEM）
Field Emission-Scanning Electron Microscope
| 機器名称 | 高分解能電界放出形走査電子顕微鏡装置（FE-SEM） Field Emission-Scanning Electron Microscope |
|---|---|
| メーカー／型式 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ／S-4800 |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館N102 |
| 仕様説明 | 金属、粉末、生物試料等表面微細構造を観察できる装置です。試料に電子線を照射し、新たに試料から放出される二次電子線、反射電子線を検出することにより高倍率で鮮明な立体画像が得られ、さらに、元素特有のX線をエネルギー分散型X線分析装置（堀場製作所／EX-420）で検知することで、5B～238Uまでの元素を定性・定量分析できる装置です。 ー The S-4800 is capable to image metal, powder and biology sample of surface structure. Produce image of sample by scaning the surface with a focust beam of electrons. The electrons interact with atoms in the sample, producing various signals that contain information about the samples surface topography and composition. EDX can analyze qualitative and quantitave of element from 5B～238U(HORIBA/EX-420). |
二次電子制御形の高効率反射電子検出方式(Super E×B)により、二次電子と反射電子の混合比を自由に変えることができ、SEモードでの表面形状重視の像から、SE+BSEモードの組成情報重視の像と、アプリケーションに最適な信号選択が可能です。
高分解能観察事例）数nmレベルの触媒中白金粒子が観察可能
リターディング機能（最終加速電圧より高い加速電圧のビームを資料直前で原則させる高分解能観察手法）及び効果
EMAX XMAX検出器画像
