多機能走査型光電子分光分析装置
（ESCA）
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis
| 機器名称 | 多機能走査型光電子分光分析装置（ESCA） Electron Spectroscopy for Chemical Analysis |
|---|---|
| メーカー／型式 |
アルバック・ファイ株式会社／PHI VersaProve4 |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館N119 |
| 仕様説明 | X線光電子分光法は、固体試料にX線を照射することにより表面の深さ～10 nmから放出される光電子のスペクトルを測定し、表面の組成並びに化学結合状態に関する情報を得る手法です。本装置は、直径10um～200umのX線ビームを1.4 mmまで走査することができる走査型X線光電子分光分析(XPS)装置です。加えて絶縁物試料の測定が可能で、各種Arイオン銃により有機物/無機物への高速イオンエッチング銃を搭載することにより優れた深さ方向分析にも対応しております。その他のオプションとしても紫外光電子分光分析、低エネルギー逆光電子分光分析などのオプションを搭載しており半導体試料のバンドギャップ測定も可能です。 |