低真空形走査顕微鏡
（低真空SEM）
Low Vacuum Scanning Electron Microscope
| 機器名称 | 低真空形走査顕微鏡（低真空SEM） Low Vacuum Scanning Electron Microscope |
|---|---|
| メーカー／型式 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ／SU-1510 |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館N102 |
| 仕様説明 | 試料の立体画像観察および元素分析を低真空域（6～270 Pa）にて行うことのできる装置です。非伝導性物質表面に金属コーティングしなくてSEM像観察・組成分析が可能となり、試料の回転を行うことなく4方向からの凹凸立体像も表示できる装置です。 ー The SU1510 is capable of observation and elemental analysis of the sample in a low vaccume (6-270Pa). Non-metal coating on the non-conductive material surface can be observed and analyzed. The SU1510 is possible to show stereoimage from 4 directions without roatation of the sample. |
低真空の原理説明（電子線とガス分子の衝突により発生するプラスイオンが表面電荷を中和することで、非導電性試料も前処理無しで観察が可能となります。
4分割反射電子検出器の採用（試料の回転を行うことなく4方向からの凹凸像観察が行え、更に組成・立体像の観察もワンクリックで可能となります。
