フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ
（EPMA）
Electron Probe Micro Analyzer
| 機器名称 | フィールドエミッション形電子プローブマイクロアナライザ（EPMA） Electron Probe Micro Analyzer |
|---|---|
| メーカー／型式 |
日本電子株式会社／JXA-8530F |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館N118 |
| 仕様説明 | 細く絞った電界放出型（FE）電子ビームを試料の微小領域に照射し、そこから発生するX線などを検出することによって、数μm以上の極小部を元素分析することができる装置です。金属分野をはじめとして、主に無機分野で利用されており、試料中元素の定性・定量分析はもとより、試料表面の元素分布状態についての情報を得ることが可能です。 ー Focused field emission electron beam is illuminated to micron area and detecting x-ray signal from the area, we can analyze elements in a few micron meter scale area. It is used for mainly inorganic material fields, especially metal material fields. We can acquire information about not only qualitative analysis & quantitative analysis but also element distribution on top surface of samples. |
WDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。
・広領域のステージスキャンマップにも対応。
・EDSはアクティブマップ（全スペクトル同時取り込み）利用可能。
・WDSでの分析前にEDSでスクリーニング分析することが有効
試料：玄武岩 上段：WDS 下段：EDS
反射電子組成像とEDS/WDSコンバインカラーマップ
ー
Combining WDS and EDS, effective data acquisition is available.
-Wide area stage scan mapping is applicable.
-In EDS, Active map (all spectrum simultaneous acquisition) is applicable.
-Screening analysis by EDS is effective before WDS analysis.
BEI, EDS & WDS combine color mapping data
Sample: basalt upper: WDS lower: EDS
WDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。
・広領域のステージスキャンマップにも対応。
・EDSはアクティブマップ（全スペクトル同時取り込み）利用可能。
試料：玄武岩 上段：WDS 下段：EDS
反射電子組成像とEDS/WDSコンバインカラーマップ