イオンマイクロアナライザ
（SIMS）
| 機器名称 | イオンマイクロアナライザ（SIMS） Secondary Ion Mass Spectrometry |
|---|---|
| メーカー／型式 |
アメテック株式会社／IMF-6F |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館N120 |
| 仕様説明 | 数百eV～15 KeVのエネルギーを有する集束イオンビーム(一次イオンビーム)を試料表面に照射し、スパッタ現象に伴い、試料から放出される二次イオンを質量分析計にかけて、元素または化合物の定性・定量分析ができる装置です。スパッタしながら分析すれば、元素の深さ方向分布が取得でき、さらに、二次イオン像を観測すれば、面内分布が取得できます。 ー The IMS 6f a double focusing magnetic sector SIMS instrument provides a unique combination of extremely high sensitivity for all elements from Hydrogen to Uranium and above (detection limit down to ppb level for many elements), high lateral resolution imaging (down to 0.5μm) achieved with the focused reactive primary ions (oxygen and cesium), and a very low background that allows high dynamic range (more than 5 decades). |
左側がIMS 6f本体で、右側が電気系と制御コンピュータです。
IMS 6f装置を上から見た画像です。