マーカス型高周波グロー放電
発光表面分析装置
（rf-GD-OES）
radio frequency Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy
| 機器名称 | マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置（rf-GD-OES） radio frequency Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy |
|---|---|
| メーカー／型式 |
株式会社堀場製作所／GD-Profiler2 |
| 設置場所 |
東大阪キャンパス 38号館S118 |
| 仕様説明 | 迅速かつ簡易な表面・深さ方向元素分析装置。薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術を中心に活用されています。パルススパッタリング機能によって、有機材料を低ダメージ・高分解能測定が可能になりました。 【特長】 ①測定元素：H～U ②検出下限：数10ppm～（元素・試料に依存） ③深さ方向分解能：数nm～（試料形状に依存） ④測定面積：Φ1mm～10mm ⑤スパッタ速度：1～10μm/min（材料に依存） |
多層めっき/ZDC
膜中水素評価
めっき・熱処理品のベーキング前後の水素、DLO中水素などの評価・解析に用いられています。
EBSD観察の前処理
rf-GDによる前処理を行うことで、EBSP観察がより行いやすくなる場合があります。材料解析の一つの手法として、ご検討ください。